數字式質量流量控制器 SEC-N100 系列

概要

基于多年來*技術產品的市場發(fā)展經驗，我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。
氣體被廣泛地運用于各種工業(yè)領域，從太陽能電池、燃料電池的研究和制造，這一獲得巨大關注的再生能源項目得到了各地的支持；到半導體、液晶面板和在電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率，進而節(jié)約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發(fā)展，為*的制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續(xù)開發(fā)新的產品來滿足客戶的需求

日本HORIBA數字式質量流量控制器流量計特征

HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。

此型號適合各種小流量到大流量的需要。

流量控制范圍為標定滿量程的2～100%

日本HORIBA數字式質量流量控制器流量計

高精度

■高精度（設定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則：1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)"，對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據當下的設定點不斷變化，其PID參數也將隨之被優(yōu)化。              

多氣體、多量程的解決方案

■的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力 的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

致力于成本考量，運用新的設計概念

作為N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產品。請注意，在沒有通知的情況下，可能會對某些需要提高生產率的部件和產品工藝做出修改，但不會牽涉到改變產品的規(guī)格。

產品相關圖及其它